Přehled
Hmotný průtokoměr je velmi klíčovou součástí výrobních zařízení pro polovodiče. Její pracovní stabilita se často stává klíčovým faktorem úspěchu nebo neúspěchu polovodičových procesů.
HORIBA STEC, Jako globální výrobce průtokoměrů s podílem na trhu přesahujícím 35 %*1 nabízíme dlouhodobě vysoce kvalitní a všestranné produkty pro průmysl polovodičů. Nyní se společností HORIBA STEC přináší zcela nová technologie a nabízí celosvětově nový typ regulátorů hmotnostního toku: řadu Z500.
Ve srovnání se staršími modely představuje řada Z500X zcela nový průlom a je odsouzena změnit budoucnost technologií řízení průtoku. Při poskytování všech funkcí potřebných zákazníkům pro řízení průtoku je možné provést konverzi složených plynů a složených průtoků. Zákazníci mohou snadno měnit druh a rozsah plynu průtokoměru podle potřeb procesu*2.
Kromě toho díky technologickým inovacím v materiálech řada Z500 plně splňuje požadavky na design ekologických produktů RoHS a zvyšuje hodnotu produktu pro zákazníky.
Vysoce výkonný průtokoměr řady Z500 vám přinese další překvapení. Celý svět je svědkem vzniku tohoto nového hmotnostního průtokoměru, který změní celý průmysl polovodičů.
*1 Podle studie VLSI z roku 2007.
*2 Funkce složeného plynu a složeného průtoku.
Vlastnosti
Vysoká přesnost: nastavení průtoku ± 1,0%.
Lineární přesnost MFC je kompenzována polynomiální přibližovací křivkou, která zajišťuje vysokou přesnost řízení v každém řídícím rozsahu. S cílem zlepšit přesnost kontroly různých druhů plynů vyvinula společnost HORIBA STEC standardní systémy měření plynů a na základě rozsáhlých experimentů shromažďuje data o kalibraci různých procesních plynů.
Vysokorychlostní reakce
SEC-Z500X využívá nejnověji vyvinutý systém „modifikovatelného PID“, který zajišťuje, že změna mezi libovolnými dvěma nastavenými body průtoku se provádí během 1 sekundy. Při nastavení různého průtoku se data PID automaticky upravují a data PID se automaticky optimalizují pro vysokorychlostní reakci i po změně typu plynu a rozsahu průtoku.
Plynové složení, řešení složeného toku
Nové produkty HORIBA STEC umožňují zákazníkům snadno změnit druh a průtok plynu na místě. Náš software pro nastavení Z500 je jednoduchý a snadno použitelný. Co je ještě lepší, dokončení těchto změn ani nevyžaduje odstranění MFC ze systému. Tímto způsobem lze značně snížit počet náhradních dílů zákazníka a zároveň ušetřit čas a náklady.
Výrobky a další